[发明专利]一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法在审
申请号: | 201911381118.2 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111128640A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 何达强 | 申请(专利权)人: | 佛山市海欣光电科技有限公司 |
主分类号: | H01J9/04 | 分类号: | H01J9/04;H01J9/18;B22F1/00;B22F3/10;B22F7/08 |
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地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁控管阴极组件与硅钼焊料一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:(1)选材、配比;(2)研磨、混匀;(3)筛分;(4)配置有机载体;(5)配置硅钼焊料浆液;(6)涂布;(7)预烧结;(8)高温烧结;(9)焊接。本配置方法生产工序简单、成本低廉、易实现自动化。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控管 阴极 组件 焊料 一体化 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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