[发明专利]一种砷化镓基发光二极管粗化后取管芯的方法有效
| 申请号： | 201911382156.X | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113054068B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;吴向龙;闫宝华;王成新;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 张文杰 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种砷化镓基发光二极管粗化后取管芯的方法，包括管芯制作、管芯粗化、管芯处理、取管芯，将制作好的管芯进行粗化，再对粗化残留物进行处理，最后取管芯顺利完成倒模，本发明科学合理，使用安全方便，使用光刻胶与粗化生成物充分混合，利用无水乙醇与光刻胶的互溶，可以使大部分光刻胶溶解掉，然后使用毛刷等工具利用物理刷片，直接将光刻胶和残留物一起刷洗掉，并且无水乙醇对蓝膜本身没有伤害，该方法对粗化后生成物的去除效果极佳，采用2‑4μm厚度适中的光刻胶能够达到最佳的溶解效果，本发明使管芯粗化后易取，降低了管芯留膜率，方法简单，易于操作，适用于规模化作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓基 发光二极管 粗化后取 管芯 方法 | ||
【主权项】：
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