[发明专利]一种MCS压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 201911382208.3 | 申请日: | 2019-12-28 |
公开(公告)号: | CN111157164B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 郭和平;万桦坪;刘帅 | 申请(专利权)人: | 西安中星测控有限公司 |
主分类号: | G01L9/04 | 分类号: | G01L9/04;G01L19/00 |
代理公司: | 陕西增瑞律师事务所 61219 | 代理人: | 孙卫增 |
地址: | 710077 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种MCS压力传感器及其制备方法,获取弹性钢板,在弹性钢板的第一板面上涂覆粘接胶,粘接胶均匀涂覆在第一板面上;将金属箔片粘接在弹性钢板的第一板面上;按压弹性钢板和金属箔片,以使粘接胶均匀充斥在弹性钢板的第一板面与金属箔片之间,该工序可以有效保证粘接胶层的均匀性,在本发明实施例中,粘接胶层均匀涂覆,并且在工序中增加了依据一定的温度、一定的时间、一定的压力、一定的真空度按压工序,进一步避免了上述粘接胶层不均匀一致时所产生的性能下降问题;把金属箔片刻蚀成一个个惠斯通电桥;以大于惠斯通电桥所在区域为单元分割弹性钢板和金属箔的粘接体,分割下来的带有惠斯通电桥的弹性体就是MCS压力传感器。 | ||
搜索关键词: | 一种 mcs 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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