[发明专利]一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器在审
| 申请号： | 201911382880.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110926659A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 赵善文 | 申请（专利权）人： | 深圳市五湖智联实业有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 深圳龙图腾专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 姜书新 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器，包括芯片和光纤，所述芯片的一侧设有光测腔，所述芯片的另一侧设有感压腔，所述光测腔与所述感压腔之间设为感压片，所述感压片上设有微桥谐振片，所述光测腔底部错开所述感压片的区域设有微悬臂谐振片，所述光纤设有两根，其中一根光纤对准所述微桥谐振片设置，另一根光纤对准所述微悬臂谐振片设置。本发明可有效消除由于环境温度对压力测量精度的影响，扩大其适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 微机 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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