[发明专利]一种激光切割装置有效
| 申请号： | 201911383636.8 | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111001953B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 徐俊南;李光辉;陆俊;李万朋;何俊添 | 申请（专利权）人： | 东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种激光切割装置，包括：激光器、转镜切割头模组、线性平台、底座和支撑件；所述支撑件固定设置于所述底座上；所述激光器与所述转镜切割头模组均固定设置于所述支撑件上；所述转镜切割头模组包括多面转镜、电机和光路修正组件，所述电机的输出轴与多面转镜的转动轴传动连接；所述所述线性平台可线性滑动地设置于所述底座上，所述线性平台上装载有料片，所述多面转镜用于将所述激光反射至所述料片上形成切割路线。本申请达到了既保证对晶圆料片切割的精度，又提高对晶圆料片的切割效率的技术效果，解决了如何既保证对晶圆料片切割的精度，又提高对晶圆料片的切割效率的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 切割 装置 | ||
【主权项】：
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