[发明专利]一种多用碳化硅晶片传输机械手有效
| 申请号： | 201911392586.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111037580B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;王诗兆;东芳;李瑞;薛良豪 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/02;B25J15/06 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 黄靖 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多用碳化硅晶片传输机械手，包括衬板；主传动齿轮和副传动齿轮，主后辅臂和副后辅臂，动力输入模块，动力输入模块给机主传动齿轮提供动力输入带动主传动齿轮转动；主抓取臂和副抓取臂，主抓取臂与主传动齿轮和主后辅臂铰接，与主传动齿轮和主后辅臂铰接；主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在主抓取臂中部的上端和下端，副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表明，另一端分别铰接在副抓取臂中部的上端和下端；直径调节模块分别安装在主抓取臂和副抓取臂的末端。本发明可实现二级抓取，实现了有限空间内不同腔体间的高效协调运作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多用 碳化硅 晶片 传输 机械手 | ||
【主权项】：
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