[发明专利]光波导及其制备方法有效
申请号: | 201911392616.7 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111045143B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 郑宇;张中;黎雄;张正友 | 申请(专利权)人: | 腾讯科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G02B6/00 | 分类号: | G02B6/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本公开的实施例提供一种光波导及其制备方法,该制备方法包括:通过第一辅助层在第一方向上提供第一间隔,并在第一间隔中形成第一光限制层;通过第二辅助层在第一光限制层上在所述第一方向上提供第二间隔,并在第二间隔中形成光传输层,其中,在第一方向上,第二间隔位于第一间隔的边缘的内侧;去除第二辅助层;通过第三辅助层在第一辅助层上在第一方向上提供第三间隔,并在第三间隔中形成第二光限制层,其中,在第一方向上,第二间隔位于第三间隔的边缘的内侧,并且第一光限制层和第二光限制层包裹光传输层,第一光限制层和第二光限制层的折射率均小于光传输层的折射率。该方法可以灵活地调整光传输层的厚度,采用该方法制备光波导的成本低。 | ||
搜索关键词: | 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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