[发明专利]一种精密光学测量系统光路切换装置在审
申请号: | 201911393037.4 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111025625A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 邓健;程路超;张涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种精密光学测量系统光路切换装置,包括:底座,下层旋转轴系,设置在所述底座上;驱动系统,用于驱动所述下层旋转轴系进行旋转,上层旋转轴系,与所述下层旋转轴系可相对转动,所述上层旋转轴系包括:弹性件、限位挡块、旋转平台、上层轴承和反射镜组;所述旋转平台与所述下层旋转轴系固定安装;所述上层轴承固定在所述旋转平台上;所述弹性件设置在所述旋转平台上,所述弹性件设置有弹簧预紧力后,且顶靠所述限位挡块;限位机构,与所述限位挡块配合实现限位。本发明公开的装置具有精度高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 光学 测量 系统 切换 装置 | ||
【主权项】:
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