[发明专利]一种高效散热半导体衬底及其制备方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，提供了一种高效散热半导体衬底及其制备方法。本发明在半导体基底背面沉积金刚石薄膜，然后在正面依次进行减薄和抛光，得到高效散热半导体衬底。本发明提供的衬底正面为极薄的半导体衬底层，背面为高效散热的金刚石薄膜，既符合材料外延生长的要求，也具有优良的导热能力，利用其制备半导体光电子器件，能够提升器件的性能，免除常规光电子器件制备工艺中的减薄、抛光的工艺步骤，不会对正面的器件结构及正面电极造成损伤。