[发明专利]一种化学机械抛光液及其使用方法在审
| 申请号： | 201911397746.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113122139A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 任晓明;贾长征;李守田;王志宏;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种化学机械抛光液，包括氧化铈、硫酸铈和pH调节剂。本发明中化学机械抛光液使用氧化铈作为抛光颗粒并配合使用硫酸铈作为氧化剂，不仅可以提高无定形碳材料的抛光速率，还能够提高抛光液的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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