[发明专利]电阻式微流体压力传感器有效
| 申请号： | 201911398957.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111024295B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 桂林;高畅;张仁昌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01L7/18 | 分类号： | G01L7/18;G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 麻雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微流体压力检测技术领域，公开了一种电阻式微流体压力传感器，包括：流体层；柔性薄膜层设置在流体层的上端面，在柔性薄膜层上构造有开口朝下且向柔性薄膜层的上方凸起的微流体压力感应腔；电极层设置在柔性薄膜层的上端面，在电极层上构造有开口朝下且向电极层的上方凸起的压力感应液态电极腔，微流体压力感应腔设置在压力感应液态电极腔内，在微流体压力感应腔和压力感应液态电极腔之间构造有缓存腔室；以及微小电阻信号测量结构，其通过导线分别与液态电极流道入口和液态电极流道出口连接。该电阻式微流体压力传感器具有流体压力检测的分辨率和灵敏度较高以及微流体压力传感器的制作成本低和难度小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 式微 流体 压力传感器 | ||
【主权项】：
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