[发明专利]蒸镀装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201911399783.4 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111020491B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丁漫;刘育豪;姚祥;戴铭志;牛晶华 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。蒸镀装置包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；第一侧壁围绕第一出口；第一叶片以及第二叶片位于第一出口中，并且固定在第一侧壁上；第一叶片围绕第一开口；第二叶片围绕第二开口；第二开口小于第一开口；加热丝设置在第一侧壁、第一叶片以及第二叶片中。在本发明中，防堵帽避免蒸镀容器中蒸镀原料的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体瞬间大幅波动。蒸镀气体在防堵帽上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。另外，防堵帽避免蒸镀气体在蒸镀容器的第二出口上发生冷凝造成堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 设备 | ||
【主权项】：
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