[发明专利]一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法有效
| 申请号： | 201911400459.X | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111025472B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;蒋建光;邓鑫宸;牛梦华;车录锋;余辉;李宇波;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法。放置隧道式高温炉，隧道式高温炉两端开设炉口分别作为进口端和出口端，且在隧道式高温炉的进口端和出口端之间布置水平的传送带；坩埚放置在传送带上并沿传送带运输，传送带的传送轮连接驱动结构，传送带的驱动结构作用下，传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉，经高温离子交换反应后输送至隧道式高温炉的出口端。本发明提高了光波导芯片的一致性，使合格率更容易提高；降低了设计、优化玻璃基离子交换表面光波导芯片生产工艺参数的繁琐和成本；提高了光波导芯片的生产效率，降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 离子交换 表面光 波导 芯片 连续生产 方法 | ||
【主权项】：
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