[发明专利]一种单晶加料装置及加料方法在审
| 申请号： | 201911400476.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111074336A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郭大伟;关树军;陈辉 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 张铁兰 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶加料装置及加料方法，包括储料器、加料仓和气路调控系统，储料器密封设置于加料仓上，储料器和加料仓分别与气路调控系统连接，加料仓通过一金属波纹软管能够与单晶炉内的坩埚连通，单晶炉与金属波纹软管的连接处设置一插板阀。本发明既解决了RCZ要等硅棒出炉后，才能再次加料的低效问题，又解决了CCZ对硅料大小、对坩埚要求高的问题。本发明无需将进料重量进行实时精确控制，可以适配更大尺寸硅料，市场可选料种丰富，对坩埚要求与普通直拉单晶无差异，没有液面波动的问题。本发明能够进一步提高产能的同时降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加料 装置 方法 | ||
【主权项】：
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