[发明专利]一种用于海洋多维成像系统中的分光镜、其制备方法和设计方法有效

专利信息
申请号: 201911402218.9 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN110989183B 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 付秀华;于雪冰;张静 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: G02B27/10 分类号: G02B27/10;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/06;C23C14/58
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 赵徐平
地址: 130022 吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种用于海洋多维成像系统中的分光镜,所述分光镜包括基片,以及分别沉积在基片两侧的第一光学膜系和第二光学膜系;所述第一光学膜系的基本结构为Sub|a(0.8H(LH)3L0.8H)p b(0.8H(LH)3L0.8H)p c(0.8H(LH)3L0.8H)p d(0.8H(LH)3L0.8H)p|Air;所述第二光学膜系的基本结构为Sub|6.24H8.75L0.34H9.23L|Air;其中,H表示由高折射率材料制成的膜层,L表示由低折射率材料制成的膜层,Sub表示基片,Air表示空气,a、b、c、d表示相对于中心波长的系数,且a>b>c>d,p为重叠周期数。本发明提供的分光镜在使用波段宽于传统分光镜,实现了0.4~0.9μm高效反射,8~12μm高效透射,提高系统探测效率,还利用原位退火方法,提高薄膜抗盐雾特性。
搜索关键词: 一种 用于 海洋 多维 成像 系统 中的 分光镜 制备 方法 设计
【主权项】:
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