[发明专利]一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法在审
申请号: | 201911404340.X | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111189803A | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 李淼;焦宗平;王答成 | 申请(专利权)人: | 彩虹显示器件股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01N15/14;G01N15/02 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 712000 陕西省咸阳市秦都*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种检测平板玻璃板工作面微粒子的方法,包括以下步骤:步骤1:将平板玻璃板工作面朝上放置在检测台传输机上;步骤2:检测台传输机移动平板玻璃板朝线扫面相机方向传输;步骤3:光源发出的激光照射在平板玻璃板上,平板玻璃板上的工作面微粒子对激光发生漫反射,形成漫反射光,线扫面相机接受漫反射光,进行暗场成像,检测工作面微粒子的数量和大小;所述激光的入射角α不小于88°。所述步骤3中,线扫面相机接受中心线反射角θ范围为45°~48°的漫反射光。所述步骤3中,采用集光反射镜对漫反射光进行焦集,线扫面相机接受焦集后的漫反射光。该方法检测精度高,速度快,不受平板玻璃板厚度、翘曲和传输倾斜影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 平板 玻璃板 工作面 微粒子 方法 | ||
【主权项】:
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