[发明专利]一种基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统

摘要

本发明涉及一种电气火灾监测系统，具体涉及一种基于光电型薄膜芯片的电气火灾监测系统，由α‑Ga2O3/β‑Ga2O3相结薄膜芯片、电火花光电探测外围电路、蜂鸣器以及网络通讯模块组成；所述的α‑Ga2O3/β‑Ga2O3相结薄膜芯片，包括α‑Ga2O3薄膜、β‑Ga2O3薄膜、Ti/Au薄膜电极以及蓝宝石衬底，其中α‑Ga2O3薄膜在β‑Ga2O3薄膜的上方，厚度为200‑300nm，β‑Ga2O3薄膜的厚度为200‑300nm，并形成α‑Ga2O3/β‑Ga2O3相结薄膜芯片，蓝宝石衬底作为制备β‑Ga2O3薄膜的衬底，所述的α‑Ga2O3薄膜面积为β‑Ga2O3薄膜面积的一半，所述的Ti/Au薄膜电极位于α‑Ga2O3薄膜和β‑Ga2O3薄膜表面，形状为边长2.0毫米的正方形，Ti薄膜电极厚度为20‑30nm，Au薄膜电极在Ti薄膜电极的上方，厚度为60‑90nm。本发明电气火灾监测系统可实现远程监测和报警，可应用于远程电气火灾报警和高压输电线电晕监测。