[发明专利]一种可快速测量极低露点的冷镜式露点仪

摘要

本发明涉及露点温度测量领域，尤其涉及一种可快速测量极低露点的冷镜式露点仪，其包括气路系统、光路系统、制冷系统和控制系统，气路系统包括测试腔、采样管路和辅助增湿单元，辅助增湿单元包括增湿管路和电磁阀，增湿管路两端连接于采样管路两个开口；光路系统包括发射光源、镜面和光敏接收器，镜面位于测试腔内部，发射光源照射镜面，反射光被光敏接收器接收；制冷系统包括半导体制冷器和为半导体制冷器做预制冷处理的压缩机制冷器，半导体制冷器的冷端连接于镜面底部，半导体制冷器的热端安装在压缩机制冷器的蒸发器上；控制系统与气路系统、光路系统和制冷系统均电连接。本发明可测量极低露点，测量速度快，准确度高、稳定性强。