[发明专利]一种高精度的四氯化锗鼓泡装置有效
申请号: | 201911408159.6 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111153590B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 沈小平;王兵钦;何炳;边志成;尹中南;范忠阔;陈苏;朱坤 | 申请(专利权)人: | 江苏通鼎光棒有限公司 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 | 代理人: | 时萌萌 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及一种高精度的四氯化锗鼓泡装置,包括特气分配柜、蒸发设备控制组件、蒸发罐、喷灯、通风排气组件,以及向所述蒸发罐通入四氯化锗原料的第一管道和第二管道、向所述蒸发罐通入氩气的第三管道、由所述蒸发罐蒸发出蒸发气体的第四管道、连通所述第三管道和第四管道的第五管道、向所述喷灯通入蒸发气体的第六管道、向所述通风排气组件排气的第七管道和第八管道。本发明高精度的四氯化锗鼓泡装置通过借助可编程逻辑控制器、比例电磁阀、自动阀阀门等设备改进实现鼓泡气体压力、流量精确控制,避免光纤预制棒芯棒芯层出现气泡、开裂、光学参数超标等问题,极大提高了预制棒的产品质量,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 氯化 锗鼓泡 装置 | ||
【主权项】:
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