[发明专利]一种促进剂组合物在去除铜大马士革工艺中氮化钛的应用在审
| 申请号： | 201911409284.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113122267A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 肖林成;刘兵;张维棚 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C09K13/08;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种促进剂组合物在去除铜大马士革工艺中氮化钛的应用，促进剂组合物包括：氧化剂、多元醇以及纯水。所述组合物在酸性、接近中性以及碱性体系中均可提高氮化钛的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 促进剂 组合 去除 大马士革 工艺 氮化 应用 | ||
【主权项】：
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