[发明专利]基于蜿蜒线的柔性MEMS可延展传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911410058.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111134831A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;洪雯 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | A61B18/02 | 分类号： | A61B18/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于蜿蜒线的柔性MEMS可延展传感器，包括可延展基底层、底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层；其中，可延展基底层位于结构最底层；底部绝缘层设置于可延展基底层的上；金属层设置于底部绝缘层的上方；顶部绝缘层设置于金属层的上方；底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层的形状呈蜿蜒状延伸，用以增强其延展性。本发明传感器贴附于其他物体，随其他物体表面的伸缩被重复拉伸收缩后，基于基底层本身的可延展性以及蜿蜒状的底部绝缘层、金属层和顶部绝缘层的延展性，该传感器可以正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 蜿蜒 柔性 mems 延展 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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