[发明专利]蒸发源在审
| 申请号： | 201911411420.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113122810A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 轩景泉;林文晶;马晓宇 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；冷却装置包括冷却箱和冷却组件；冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内；冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却冷却箱，加热装置设置成加热坩埚。本发明所提供的蒸发源能够进行多种材料蒸镀的同时，避免不同材料之间的相互掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 | ||
【主权项】：
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