[发明专利]基于介电效应的电致变形装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201911411514.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111081862B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;付浩然;陈颖;张柏诚;刘兰兰;蒋晔 | 申请（专利权）人： | 清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/09;H01L41/25;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于介电效应的电致变形装置及其制作方法，电致变形装置包括载体层(13)和复合层(F)，所述复合层(F)附着于所述载体层(13)，所述复合层(F)包括三层结构，依次为电极层(11)、介电材料层(12)和电极层(11)，所述电极层(11)由导体制成，所述介电材料层(12)由具有介电性能的材料制成，当所述装置未通电时，所述载体层(13)呈螺旋形，当给所述装置通电后，所述装置能发生扭转。根据本发明的电致变形装置，其结构简单且能实现扭转和/或弯曲变形。根据发明的电致变形装置的制备方法，其工艺简单、可操作性强。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 效应 变形 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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