[发明专利]一种具有微观有序纳米结构SERS基底及制备方法有效
| 申请号： | 201911412021.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113125406B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 明安杰;祁琦;赵永敏;朱婧 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种具有微观有序纳米结构SERS基底及制备方法，属于光谱分析领域。包括基材，基材表面具有周期性排列的柱状微纳结构，柱状微纳结构包括由第一材料构成的第一层，由第二材料构成的第二层，基材及柱状微纳结构表面包覆由第三材料构成的第三层，第三层上沉积的金属纳米颗粒，基材由第一材料构成。在硅片上生成SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 微观 有序 纳米 结构 sers 基底 制备 方法 | ||
【主权项】：
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