[发明专利]一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置有效
申请号: | 201911412750.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111112158B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 周学峰;张强;王淼;贾海洋;杨强;刘伟;侯明超;朱玉 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;C30B15/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,所述方法包括步骤:获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 避免 过程 发生 爆燃 方法 装置 | ||
【主权项】:
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