[发明专利]电容式压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201911414206.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111060231B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 何吉能;陈晓慈;郑勋钊;陈彦州 | 申请（专利权）人： | 捷普电子（新加坡）公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电容式压力传感器及其制造方法。该电容式压力传感器包括：间隔叠置的第一电容极板和第二电容极板，处于所述第一电容极板和第二电容极板之间的介电层，所述介电层包括有空气层，在所述第一电容极板和第二电容极板中的至少一个上构造有与所述空气层连通的通气孔，在所述第一电容极板和第二电容极板相对运动时，空气经所述通气孔进入所述空气层或从所述空气层内排出。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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