[发明专利]一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构在审
| 申请号： | 201911416451.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111163410A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;佐佐木宽充;畠山庸平 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳岩 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，该防尘结构包括网格膜和载体，所述载体呈柱状框架结构，所述载体具有沿自身轴向设置的贯通的开口，所述载体的侧壁具有弧形表面；所述网格膜具有固定连接区和透声区，所述固定连接区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘；所述网格膜设置在所述载体的端面上，所述透声区与所述开口的位置对应。将所述载体的侧壁设置成弧形表面，就可以很好地释放由于所述载体与所述MEMS器件厚度尺寸和材料特性的不同带来的变形和应力，避免了应力集中并传递至所述网格膜，对所述网格膜起到了很好地保护作用，提高了所述防尘结构的稳定性和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 器件 防尘 结构 麦克风 封装 | ||
【主权项】：
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