[发明专利]一种T型光刻图形的根部腔壁角度调整及T型栅制作方法

摘要

本发明涉及一种基于电子束负胶的T型光刻图形的根部腔壁角度调整方法及T型栅制作方法；其步骤包括：在制备器件所需的外延层表面旋涂负性电子束光刻胶，用电子束直写所需T型栅两侧区域并显影获得正梯形的栅脚结构，通过控制电子束直写计量调节栅脚图形根部腔壁的角度。然后，利用正性电子束光刻胶直写栅帽，或者通过传统光刻曝光光刻栅帽，形成T型形貌，再蒸发金属后剥离形成T型金属电极。本发明采用电子束负胶不仅能够获得正梯形的栅脚结构，显著提高栅的稳定性，同时由于该方法不需要直写栅终端的大面积区域，有效提高直写速度；该工艺在制作氮化镓基、铟磷基、砷化镓基等材料的高频器件工艺中具有重要意义。