[发明专利]一种MEMS驱动器及成像防抖装置有效
申请号: | 201911416885.2 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111153378B | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 陶泽;李杨;吴伟昌;屠兰兰;黎家健 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(南京)有限公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;H04N23/68 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 谷孝东 |
地址: | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明的一种MEMS驱动器及成像防抖装置,涉及MEMS执行器领域,包括依次层叠的驱动机构和联动机构;所述驱动机构包括第一锚定部、与所述第一锚定部间隔设置的第一支撑件以及连接在所述第一锚定部和所述第一支撑件之间的致动器,所述第一支撑件用于支撑被驱动装置;所述联动机构包括与所述第一锚定部对应且相对固定的第二锚定部、与所述第二锚定部间隔设置的第二支撑件以及连接在所述第二锚定部与所述第二支撑件之间的弹性电连接机构,所述第二支撑件与所述第一支撑件固定。本发明将驱动和电信号传递结构的设计独立开来,在有限的结构尺寸下,为执行器结构提供更多设计空间,有助于减小执行器的横向尺寸。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 驱动器 成像 装置 | ||
【主权项】:
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