[发明专利]一种MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201911416888.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111156979B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;李杨;张睿;刘雨微;谭秋喻;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/42;G01C19/16 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开一种MEMS陀螺仪，涉及一种陀螺仪；包括谐振子和多个外部电极，所示外部电极呈圆周阵列分布在谐振子外围，所述谐振子为轴心对称的圆盘形网状结构，所述谐振子包括位于谐振子中心的锚点结构和螺旋线结构，所述螺旋线结构与锚点结构固定连接，所述螺旋线结构由多个螺旋线单元依所述锚点结构进行圆周阵列交织成网状；本发明基于圆盘型陀螺的优势，把螺旋线结构由螺旋线单元依起点进行圆周阵列组成构成，内置锚点，简化螺旋线段等手段以降低工艺难度，便于微纳加工，同时可降低谐振器变形量的宽度h，进而增大Q |
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| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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