[发明专利]离子源装置及可活动射频扫描离子设备在审
| 申请号： | 201911417964.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111063598A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华;刘运鸿;吴秋生;范奕生 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 装置 活动 射频 扫描 离子 设备 | ||
【主权项】：
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