[发明专利]声波器件的制作方法及声波器件在审
| 申请号： | 201911418473.2 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111030629A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 黄韦胜;廖珮涥 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种声波器件的制作方法及声波器件，所述方法包括：在衬底的第一表面形成第一谐振结构；在所述衬底的第二表面形成第二谐振结构；其中，所述第二表面与所述第一表面为相反面，所述第一谐振结构和所述第二谐振结构均包括体声波谐振结构。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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