[发明专利]具有声学干涉阵列的体声波谐振器及组、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911419008.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111092605B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述谐振器在有效区域的边缘设置有声学不匹配结构；且所述谐振器的顶面设置有声学干涉阵列，所述声学干涉阵列包括覆盖有效区域的中心阵列，和覆盖声学不匹配结构的至少一部分的周边阵列。本发明还公开了一种体声波谐振器组，一种具有该谐振器或谐振器组的滤波器及具有上述谐振器或上述谐振器组或上述滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 声学 干涉 阵列 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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