[发明专利]体声波谐振器组、滤波器、电子设备、机电耦合系数调整方法有效
| 申请号： | 201911419061.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111262548B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 郝龙;庞慰;徐洋;张巍;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器组件，包括设置在同一基底上的至少两个体声波谐振器，每一个谐振器包括：声学镜；底电极；顶电极；和压电层，所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域，其中：至少两个体声波谐振器包括第一谐振器与第二谐振器；第一谐振器包括第一压电层，第二谐振器包括第二压电层，第一压电层与第二压电层材料相同且同层布置，且第一压电层的厚度大于第二压电层的厚度。本发明还涉及一种机电耦合系数调整方法，一种包括上述体声波谐振器组的滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 电子设备 机电 耦合 系数 调整 方法 | ||
【主权项】：
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