[发明专利]一种陶瓷进气接射频清洗装置有效
| 申请号： | 201911421168.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113130285B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;胡冬冬;李雪冬;李娜;程实然;张军;吴志浩;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 徐尔东 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种陶瓷进气接射频清洗装置，包括刻蚀系统、清洗系统、电源控制装置以及射频清洗机构，其中：电源控制装置与所述刻蚀系统和所述清洗系统连接，用于电源切换；刻蚀系统通过功率分配盒的两线路分别与所述立体式线圈的两个单立体线圈连接，来实现对腔室内晶圆的刻蚀；清洗系统通过给射频清洗机构接射频，使得与射频清洗机构连接的顶部陶瓷进气嘴下表面产生高负压，从而等离子体会直接轰击在顶部陶瓷进气嘴下表面；因此本发明在对腔室进行清洗的同时也可以对顶部陶瓷进气嘴下表面进行清洗，避免了顶部陶瓷进气嘴周期性更换的问题，解决了顶部陶瓷进气嘴下表面由于污染物叠加，沉积物脱落损坏晶圆的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 进气接 射频 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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