[发明专利]一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备

摘要

本发明公开了一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备，包括载料板、叠层式载具及依次对接的第一预热腔、第一工艺腔组、第一卸载腔、翻片区、第二预热腔、第二工艺腔组和第二卸载腔，第一工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，第二工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，各腔体内设有用于传输载料板的传输机构，叠层式载具设于载料板上，叠层式载具包括多层载具片，翻片区内设有出料工位和进料工位，出料工位和进料工位均设有传输机构，进料工位和出料工位之间设有将出料工位上的叠层式载具的载片取出并翻转180°之后再放在进料工位的叠层式载具上的取放片翻转装置。本发明具有设备整体占地面积小、成本低、维护难度小的优点。