[发明专利]超薄液膜旋离式汽化装置在审
申请号: | 201911421703.0 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN110965046A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 赵年伟;王道德;袁曙光;刘起英;孔繁华;曹涯雁;张永杰;史国华;房振华;连超;李成养 | 申请(专利权)人: | 威海中玻新材料技术研发有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/40;C03C17/245 |
代理公司: | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人: | 于振强 |
地址: | 264200 山东省威海市临港*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种超薄液膜旋离式汽化装置,其解决了现有汽化装置镀膜气相不均匀,不易彻底汽化,汽化装置大,效率不高的技术问题,其包括筒体、物料预热装置、载气加热装置、混合装置和供热装置,所述筒体的内部设有刮板和刮板支撑端盖及密封盖,支撑端盖内部设有油加热管,所述筒体的前端通过顶部物料进口和侧面载气进口分别与所述物料预热装置和所述载气加热装置相连接,所述筒体的后端通过尾部混合汽出口和筒体进出油口分别与所述前驱体原料混合汽混合装置和供热装置相连接。本发明可广泛应于镀膜玻璃用前驱体原料的超薄液膜汽化。 | ||
搜索关键词: | 超薄 液膜旋离式 汽化 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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