[发明专利]碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置在审
申请号: | 201911422183.5 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN110965080A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 李再强;尹雄威;梁军;梁民 | 申请(专利权)人: | 深圳市祺鑫天正环保科技有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12;C25C7/06;B01D53/14;B01D53/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 杨小鑫 |
地址: | 518125 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法及其装置。其中,所述碱性蚀刻废液提铜系统中氨气的处理回用方法包括以下步骤:采用盐酸溶液对碱性蚀刻废液提铜系统中产生的氨气进行吸收,得到吸收液;当所述吸收液中氯离子浓度达到预设浓度阈值,或者所述吸收液的比重达到预设比重阈值时,向所述吸收液中加入氨类助剂,形成碱性蚀刻子液并补充至蚀刻工序中。本发明的技术方案能够降低氨气的处理成本,并且实现资源的回收利用。 | ||
搜索关键词: | 碱性 蚀刻 废液 系统 氨气 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
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