[发明专利]压电MEMS麦克风及压电MEMS麦克风的制备方法在审
| 申请号： | 201911423347.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111225330A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了压电MEMS麦克风及压电MEMS麦克风的制备方法,压电MEMS麦克风包括若干个压电MEMS单元，压电MEMS单元包括基底、支撑件和膜片结构，基底包括围成收容腔的环形周壁，支撑件包括设于收容腔并与周壁间隔设置的悬置支撑部及自周壁延伸至悬置支撑部的延伸臂，膜片结构部分固定于悬置支撑部，膜片结构具有与悬置支撑部连接的锚定部及与锚定部连接并悬置于收容腔的活动部，压电MEMS单元通过设置支撑件将膜片结构部分固定于设于基底形成的收容腔内的悬置支撑部，改变了膜片结构的锚点位置，降低了支撑件在膜片结构弯曲过程的形变程度，而且本发明的支撑件能够避免传统的背腔刻蚀工艺对膜片结构的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 制备 方法 | ||
【主权项】：
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