[发明专利]氧化锌基透明电极光电探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911423521.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111139449A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 裴艳丽;王新中 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/52;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 曹柳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于光电探测器技术领域，尤其涉及一种氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，包括以下步骤：获取形成有光电探测器的基板；提供锌源、掺杂金属源和水，在温度为300～450℃条件下，在所述光电探测器远离所述基板的一侧表面沉积形成氧化锌基透明电极层，得到氧化锌基透明电极光电探测器。本发明氧化锌基透明电极光电探测器的制备方法，以水作为氧源，使制备的氧化锌基透明电极光电探测器，具有高可靠性、低正向工作电压和高光萃取效率等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 透明 电极 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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