[发明专利]真空压力计响应时间测量装置及方法在审
| 申请号： | 201911425701.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111044219A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王迪;陈林;林琳;郜晨希;刘瑞琪;远雁;郑旭;李超波;张心强;靳毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空压力计响应时间测量装置，应用于压力计技术领域，包括：充气装置上安装有标准真空压力计，充气装置与稳压腔连通，稳压腔和测试腔连接，且稳压腔和测试腔之间设置有阀门，待测真空压力计安装在测试腔上，数据采集模块连接待测真空压力计，标准真空压力计用于测量充气装置内的压力，充气装置用于给稳压腔内冲入气体，直至其压力值达到待测真空压力计的满量程值，阀门用于在该压力值达到待测真空压力计的满量程值后开启，以使稳压腔内的气体进入测试腔，待测真空压力计测量测试腔内的实时压力，数据采集模块用于采集待测真空压力计的输出信号。本申请还公开了一种真空压力计响应时间测量方法，可根据输出信号，分析真空压力计的响应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 压力计 响应 时间 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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