[发明专利]一种静电夹盘的陈化处理方法有效
| 申请号： | 201911426262.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113130286B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 伊凡·比久科夫;叶如彬 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种静电夹盘的陈化处理方法，该处理方法先对放置在静电夹盘表面的晶圆进行预设等离子体处理，使得晶圆在第一状态和第二状态之间切换，以利用晶圆在不同状态之间的体积变化，对静电夹盘的表面进行研磨，以降低静电夹盘表面的毛糙度，如果在对晶圆进行预设等离子体处理一段时间后，晶圆的温度不符合第一条件，则增大静电夹盘与晶圆之间的作用力，继续对晶圆进行预设等离子体处理，从而提高晶圆对静电夹盘的研磨效果，以便于降低静电夹盘表面的毛糙度，进而在后续利用该静电夹盘对量产的晶圆进行等离子体处理时，可以提高静电夹盘和晶圆之间的不同区域的热传导的均匀度，以提高晶圆的成品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 陈化 处理 方法 | ||
【主权项】：
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