[实用新型]一种磁控溅射设备抽气装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射设备抽气装置，包括抽气接头、接头卡环、单向阀、存气腔、限位环、抽气活塞、抽气机外壁、活动腔、活塞杆、液压缸、出气管、缓流室、缓流室进气端、缓流挡板和缓流室出气端，所述抽气机外壁的一端设有抽气接头，在上固定有接头卡环，所述抽气接头通过抽气管道与抽气机外壁连接，在该抽气管道上还安装有单向阀，所述抽气机外壁的内表面上固定有限位环，所述限位环将抽气机外壁所围成的内部区域分割为存气腔和活动腔，其中存气腔位于抽气接头与限位环之间，所述活动腔内安装有抽气活塞。本实用新型能够较为精确的控制溅射室内的气压，使得溅射室内的气压必定会被抽气装置抽成气压预设值。

主权项

1.一种磁控溅射设备抽气装置，包括抽气接头、接头卡环、单向阀、存气腔、限位环、抽气活塞、抽气机外壁、活动腔、活塞杆、液压缸、出气管、缓流室、缓流室进气端、缓流挡板和缓流室出气端，其特征在于，所述抽气机外壁的一端设有抽气接头，在上固定有接头卡环，所述抽气接头通过抽气管道与抽气机外壁连接，在该抽气管道上还安装有单向阀，所述抽气机外壁的内表面上固定有限位环，所述限位环将抽气机外壁所围成的内部区域分割为存气腔和活动腔，其中存气腔位于抽气接头与限位环之间，所述活动腔内安装有抽气活塞，所述抽气活塞安装在活塞杆上，所述活塞杆贯穿抽气机侧面的抽气机外壁并连接在液压缸的缸体上，即活塞杆充当液压缸的伸缩杆，所述存气腔处的抽气机外壁上连通有出气管，在该出气管上安装有缓流室和单向阀，其中缓流室位于存气腔和单向阀之间。