[实用新型]一种硅片周转装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片周转装置，包括底座和承重板，所述底座的顶部外壁两侧均焊接有减震弹簧，且两个减震弹簧的顶部外壁均焊接有同一个缓冲板，所述承重板的顶部外壁两侧均开有滑块滑槽，且两个滑块滑槽的内壁均滑动连接有滑块，两个所述滑块的顶部外壁均焊接有夹板，所述承重板的顶部外壁通过螺钉固定有限位筒，且限位筒的一侧内壁滑动连接有滑竿，所述滑竿的顶部外壁焊接有连接板。本实用新型可以快速调节两个夹板之间的距离，便于夹持固定不同尺寸的硅片，拓宽了该装置适用范围，可以保证稳定夹持硅片，避免硅片在周转的过程中晃动产生磨损，可以有效减小运输过程中硅片受到的振动，减轻了搬运重量。

主权项

1.一种硅片周转装置，包括底座(1)和承重板(6)，其特征在于，所述底座(1)的顶部外壁两侧均焊接有减震弹簧(5)，且两个减震弹簧(5)的顶部外壁均焊接有同一个缓冲板(4)，所述承重板(6)的顶部外壁两侧均开有滑块滑槽，且两个滑块滑槽的内壁均滑动连接有滑块(15)，两个所述滑块(15)的顶部外壁均焊接有夹板(11)，所述承重板(6)的顶部外壁通过螺钉固定有限位筒(7)，且限位筒(7)的一侧内壁滑动连接有滑竿(19)，所述滑竿(19)的顶部外壁焊接有连接板(13)，且连接板(13)的底部外壁两侧和两个夹板(11)的一侧外壁底部均通过铰链连接有连接杆(12)，所述承重板(6)的底部外壁四角均焊接有支撑杆(3)，且四个支撑杆(3)的一侧外壁均通过铰链连接有滚轮(8)，所述缓冲板(4)的顶部外壁四角均开有滚轮槽，且四个滚轮(8)分别放置于四个滚轮槽的内壁。