[实用新型]一种PVD载板清洗机有效
| 申请号： | 201920017393.5 | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN210023046U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 陈剑雨;黄茂林;邱衍荣;张延任;王树林 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/04;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清洗动作及流程，以高度自动化程序取代人员操作，具有稳定清洗产能及清洗质量，避免人员暴露在危险操作中。 | ||
| 搜索关键词： | 浸泡槽 酸洗 自动清洗设备 加热烘干 清洗 本实用新型 计算机程控 清水喷淋槽 程式控制 清水浸泡 行车机构 远程系统 远程终端 载板 废气抽排系统 计算机程序 自动化程序 编辑控制 并排设置 人员操作 危险操作 槽侧面 多片式 清洗机 一次性 产能 多片 编程 花篮 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种PVD载板清洗机，其特征在于：包括自动清洗设备(1)、程式控制柜(2)和远程终端(3)，所述自动清洗设备(1)包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽(11)、第二酸洗浸泡槽(12)、清水浸泡槽(13)、清水喷淋槽(14)、加热烘干槽(15)，所述第一酸洗浸泡槽(11)、第二酸洗浸泡槽(12)、清水浸泡槽(13)、清水喷淋槽(14)、加热烘干槽(15)上方设置有行车机构(16)和废气抽排系统(17)，所述行车机构(16)连接一次性承装多片载板的多片式花篮(18)，所述加热烘干槽(15)侧面设置有计算机程控及远程系统(19)，所述远程终端(3)通过程式控制柜(2)和计算机程控及远程系统(19)控制自动清洗设备(1)。/n
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