[实用新型]离子源侧向冷却装置有效
| 申请号： | 201920021657.4 | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN209133449U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 潘俊斌;陈俊宇;余庆璋 | 申请（专利权）人： | 建泓科技实业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种离子源侧向冷却装置，其主要借由一离子源腔体、一冷却座及一支撑座相互连接所组成，所述冷却座一端设有至少一贴附部，所述贴附部与所述离子源腔体的一侧相贴合，其特征在于：所述冷却座内部设有至少一循环冷却回路，所述循环冷却回路延伸设于所述贴附部及所述冷却座的内部，所述循环冷却回路与所述支撑座内部设有的一循环导入部及一循环导出部相连通，因此使用者即可透过所述循环导入部将水体或冷却体导入至所述循环冷却回路内，以对所述离子源腔体进行降温的作用，进而避免因所述离子源腔体过热，而缩减了部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 循环冷却回路 离子源腔体 冷却座 贴附部 侧向冷却 离子源 支撑座 本实用新型 使用寿命 导出部 导入部 冷却体 过热 贴合 水体 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种离子源侧向冷却装置，应用于离子植入的技术领域中，其特征在于，包括：一离子源腔体；一冷却座，所述冷却座的一端或一侧的任意位置上与所述离子源腔体相连接，所述冷却座一端延伸设有至少一贴附部，所述贴附部贴附于所述离子源腔体的一侧或一端的任意位置上，所述冷却座内部设有至少一循环冷却回路，所述循环冷却回路设于所述贴附部及所述冷却座内；以及一支撑座，所述支撑座一端与所述冷却座相连接，所述支撑座内部设有一循环导入部及一循环导出部，所述循环导入部及所述循环导出部与所述循环冷却回路相连通。
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