[实用新型]一种精密位移传感器

摘要

本实用新型涉及一种精密位移传感器，其位移传感器包括至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束；所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；所述反射镜二，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一。该传感器结构简单，测量精度高，便于批量生产。

主权项

1.一种精密位移传感器，其特征在于，包括：至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束；所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激光束反射至反射镜二，或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器二；所述反射镜二，用于接收激光源射出激光束，且使激光束反射至反射镜一，或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束，且使得激光束反射至光电探测器一；所述光电探测器一，用于接收经反射镜二反射的激光束，并测量其入射位置；所述光电探测器二，用于接收经反射镜一反射的激光束，并测量其入射位置；所述激光束的光路为：依次经反射镜一、反射镜二反射后入射至光电探测器一，或依次经反射镜二、反射镜一反射后入射至光电探测器二；所述光电探测器一与光电探测器二分别位于所述激光源相对立的两侧；处理系统，用于根据光电探测器一、光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。