[实用新型]一种用于钨薄膜物理气相沉积用加热盘的新型加热管有效
| 申请号： | 201920033271.5 | 申请日： | 2019-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN209468495U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 庞井成;张彬彬 | 申请（专利权）人： | 天津维普泰克科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 11684 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于钨薄膜物理气相沉积用加热盘的新型加热管，包括冷电极、加热管外管、绝缘导热介质和加热丝，加热丝设于加热管外管的内部，加热管外管内部填充有绝缘导热介质；还包括绝缘套管，绝缘套管设于加热丝的外部，且位于加热管外管内部，绝缘套管的直径等于加热丝的宽度。本实用新型通过绝缘套管设于加热丝的外部，防止了加热丝在加热管外管内部中绝缘导热介质中的位置偏移，进而防止了加热管在折弯过程加热丝与加热管外管管壁太近，保证了加热丝与加热管外管管壁之间的距离，避免造成绝缘导热介质绝缘下降或加热管外管被击穿的情况，同时避免了由于加热管的损坏造成晶片成品率下降的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 加热管 加热丝 外管 绝缘导热介质 绝缘套管 物理气相沉积 本实用新型 外管管壁 加热盘 钨薄膜 内部填充 位置偏移 成品率 冷电极 击穿 外部 晶片 绝缘 折弯 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于钨薄膜物理气相沉积用加热盘的新型加热管，包括冷电极、加热管外管、绝缘导热介质和加热丝，所述冷电极与加热丝相连，所述冷电极远离加热丝的一端贯穿加热管外管并延伸至加热管外管外侧，所述加热丝设于加热管外管的内部，且加热丝的中轴线与加热管外管的中轴线相重合，所述加热管外管内部填充有绝缘导热介质；其特征在于，还包括绝缘套管，所述绝缘套管设于加热丝的外部，且位于加热管外管内部，所述绝缘套管的直径等于加热丝的宽度；所述加热管外管端部的直径小于等于加热管外管内部的直径。
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