[实用新型]自动化工作系统

摘要

本实用新型的自动化工作系统，包括工作站及主线搬送装置。工作站用以对待测基板进行工艺作业，且包括框架、支线轨道及两工艺设备。支线轨道连接框架。两工艺设备连接支线轨道，且可沿支线轨道移动，并用以执行工艺作业。主线搬送装置包括主轨道、第一搬送台及第二搬送台。主轨道连接工作站的框架，且穿过工作站的框架。主轨道位在支线轨道上方。第一搬送台及第二搬送台连接主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送待测基板。第一搬送台搬送待测基板置两工艺设备。第二搬送台搬送待测基板离开两工艺设备。

主权项

1.一种自动化工作系统，其特征在于，包括：一工作站，用以对待测基板进行一工艺作业，且包括一框架、一支线轨道及两工艺设备，该支线轨道连接该框架，该两工艺设备连接该支线轨道，且能够沿该支线轨道移动，并用以执行该工艺作业；及一主线搬送装置，包括一主轨道、一第一搬送台及一第二搬送台，该主轨道连接该工作站的框架，且穿过该工作站的框架，该主轨道是位于该支线轨道上方，该第一搬送台及该第二搬送台连接该主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送该待测基板，该第一搬送台搬送该待测基板至该两工艺设备，该第二搬送台搬送该待测基板离开该两工艺设备。