[实用新型]圆筒形烧结体及圆筒形溅射靶有效

专利信息
申请号: 201920039349.4 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN210341043U 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 寺村享祐 申请(专利权)人: 三井金属矿业株式会社
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 任玉敏
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型是沿着中心轴线延伸、具有相互位于相反侧的第1端面及第2端面的圆筒形烧结体。该圆筒形烧结体具备:扩径外周面,从第1端面延伸,朝向第2端面扩径;圆筒外周面,从扩径外周面朝向第2端面,在沿着中心轴线的轴向上延伸;以及缩径外周面,从圆筒外周面延伸到第2端面,朝向第2端面缩径。
搜索关键词: 圆筒 烧结 溅射
【主权项】:
暂无信息
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