[实用新型]圆筒形烧结体及圆筒形溅射靶有效
申请号: | 201920039349.4 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN210341043U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 寺村享祐 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 任玉敏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本实用新型是沿着中心轴线延伸、具有相互位于相反侧的第1端面及第2端面的圆筒形烧结体。该圆筒形烧结体具备:扩径外周面,从第1端面延伸,朝向第2端面扩径;圆筒外周面,从扩径外周面朝向第2端面,在沿着中心轴线的轴向上延伸;以及缩径外周面,从圆筒外周面延伸到第2端面,朝向第2端面缩径。 | ||
搜索关键词: | 圆筒 烧结 溅射 | ||
【主权项】:
暂无信息
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